முதல் சாமம் - பஞ்சகவ்ய அபிசேகம் சந்தனப்பூச்சு வில்வம் தாமரை அலங்காரம் அர்ச்சனை பச்சைப் பயிற்றுப் பொங்கல் நிவேதனம் ருக்வேத பாராயணம்.

இரண்டாம் சாமம் - சர்க்கரை பால் தயிர் நெய் கலந்த பஞ்சாமிர்தம் அபிசேகம் பச்சைக்கறபூரம் பன்னீர் சேர்த்து அரைத்துச் சார்த்துதல் துளசி அலங்காரம் வில்வம் அர்ச்சனை பாயாசம் நிவேதனம் யசுர் வேத பாராயணம்.

மூன்றாம் சாமம் - தேன் அபிசேகம் பச்சைக் கற்பூரம் சார்த்துதல் மல்லிகை அலங்காரம் வில்வம் அர்ச்சனை எள் அன்னம் நிவேதனம் சாமவேத பாராயணம்.

நான்காம் சாமம் - கரும்புச்சாறு அபிசேகம் நந்தியாவட்டை மலர் சார்த்துதல் அல்லி நீலோற்பலம் நந்தியாவர்த்தம் அலங்;காரம் அர்ச்சனை சுத்தான்னம் நிவேதனம் அதர்வன வேத பாராயணம்.

வீடுகளில் பூசை செய்பவர்கள் சிவலிங்கம் உள்ளவர்கள் சிவலிங்கத்திற்கோ, இல்லாதவர்கள் நடராஜர் சிலையிற்கோ, அதுவும் இல்லாதவர்கள் சிவன் படத்திற்கோ நான்கு சாமப்பூசைகள் செய்தால்போதுமானது. சிவராத்திரியன்று உபவாசமிருந்து (முடியாதவர்கள் இரவில் பால் பழம் அருந்தி) பூசை செய்யலாம்.  மாலை 6.30,  இரவு 9.30,  நடுச்சாமம் 12.30,  அதிகாலை 3.30 ஆகிய வேளைகளில் பூசை செய்யலாம்.  வில்வ பத்திரம் கொண்டு 108 தடவை பஞ்சாட்சர மந்திரம் செபித்து தூப,  தீப, ஆராதனை செய்து பூசை செய்ய வேண்டும்.  பூசை தவிர்ந்த ஏனைய நேரத்தில் தேவாரம் ஓதலாம். பஞ்சாட்சர செபம் செய்யலாம். அதிகாலையில் சிவனடியார்களிற்கு அமுது இட்டு விரதத்தினை நிறைவு செய்யலாம்.  அன்னதானம் செய்தால்தான் விரதத்தின் முழுப்பலன் கிடைக்கும்.